江苏微艾诺半导体有限公司，成立于2022年8月，系江苏微艾诺智能装备集团有限公司全资子公司，是一家专业的泛半导体领域热工装备提供商，主要服务于半导体、微电子、物联网、传感器、5G通讯等领域，公司注册资本1000万元。

公司依靠持续研发创新十余年，现有四大产品系列共十余款各式设备，现主要产品有AMB陶瓷覆铜板真空钎焊炉、晶圆真空氧化退火炉、IGBT芯片封装炉、传感探测器真空热处理炉等等。

厂址位于江苏省昆山市开发区澄湖路58号，拥有8000平米现代化生产车间，秉持精益化管理思路，现年产能可达300台套，公司现有员工80人，核心研发团队12人，均为从业十年以上的技术人员。

设有华东华南两座实验中心，实验设备50台，可供广大客户来样测试。“开拓创新，精益管理，品质至上，终身服务”是微艾诺半导体的经营理念，我们倍加珍惜每一份信任，不断优化提升企业各项能力与服务品质，努力成为广大客户的泛半导体领域热工装备长期优质提供商。

本设备可执行传感器真空脱膜、真空退火、真空除气和探测器真空封装等工艺。

本设备可处理最大12英寸的SiC晶圆氧化、退火等工艺。

本设备单炉处理量约150片，AMB陶瓷覆铜板138*190mm。