11月5日

项目一期投资近1.5亿元的

CiMEMS微纳制造工艺线

在西部（重庆）科学城

西永微电子产业园顺利通线

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CiMEMS微纳制造工艺线在西永微电园顺利通线

11月5日，项目一期投资近1.5亿元的CiMEMS微纳制造工艺线在西部（重庆）科学城西永微电子产业园顺利通线。同日，由北京理工大学与重庆西永微电子产业园主办，北京理工大学重庆微电子研究院与集成声光电微纳系统教育部工程研究中心承办的“2023西部微纳传感技术产学研融合交流会”隆重开幕。

本次活动邀请到了来自清华大学、北京大学、香港科技大学、东南大学、电子科技大学、深圳大学、澳门大学、国防科技大学、重庆大学、西南大学、重庆邮电大学等高校，以及中电科芯片技术（集团）有限公司、联合微电子、长安汽车、重庆军工集团、重庆市科学技术研究院、重庆市农科院、重庆市畜科院、上海新微资本、中信银行的学界专家、企业家与投资银行家们。

CiMEMS微纳制造工艺线顺利通线

北京理工大学校长、中国工程院院士龙腾，重庆市经信委副主任赵斌，西部科学城重庆高新区主任聂红焰，西部科学城重庆高新区副主任贾子文，重庆西永微电园党委书记、董事长杜卫东，重庆西永微电园副总经理陈昱阳、重庆市发改委科创处处长张斌与北理微电院院长谢会开等领导出席通线仪式。

2023西部微纳传感技术产学研融合交流会圆桌会议

北京理工大学重庆微电子研究院位于重庆西永微电子产业园，拥有近10000平方米建筑面积的科研大楼和1200平方米超净面积的6吋MEMS晶圆微纳制造工艺中试线。目前在职科研人员近90名，其中重庆属地聘用人员为60名，硕博比超过70%。

随着“重庆根、北理芯”的字样和一片MEMS晶圆浮现出启动台，标志着北理微电院具备了MEMS芯片从前瞻性科研、产业应用设计、生产与工艺迭代优化，到封装与测试的全链条创新策源能力，并能够为重庆打造“33618”现代制造业集群提供“国内领先、国际一流”的MEMS芯片产品与服务。

CiMEMS微纳制造工艺线厂房

MEMS芯片技术是指在纳米尺度的“微观世界”，将芯片、微纳制造与微机械系统融合的前沿技术。基于光刻、刻蚀等传统半导体技术，融入超精密机械加工，并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础，使得一个毫米或微米尺度上的芯片结构具备精确而完整的机械、化学、光学等特性。

CiMEMS微纳制造工艺线厂房

放眼全球，在MEMS这个领域，欧美日等发达国家仍处于较强垄断地位，但随着万物互联与人工智能的兴起，MEMS产品种类增加、市场规模扩大。北理工重研院将立足本校学科优势，致力于建设中国西部MEMS研发+产业应用的创新策源地。

据记者了解，北理微电院首席科学家、院长谢会开教授是土生土长的重庆潼南人，在美国卡内基梅隆大学博士毕业后进入佛罗里达大学任教直至终身正教授，并且还是IEEE（电气电子工程师协会）与SPIE（国际光学工程学会）两大国际顶尖学术群体的Fellow（会士）。

北京理工大学重庆微电子研究院

自2020年回到国内后，谢会开教授以极大的热情以建设家乡的心态投入到了重庆微电子研究院的建设中，使研究院具备了一条先进微纳制造工艺中试线，面向微纳制造工艺形成六个科研方向，它们分别是：先进微纳芯片技术、智能微系统、微纳生物光子、硅基高速片上系统、太赫兹新型器件和微纳材料及新型半导体器件。

西永微电园研发区

截至运行第二年末，北理微电院已经成功递交国家自然科学基金项目指南1份，参与申报国家自然科学基金项目3项、科技部重大专项1项。此外还成立了重庆微奥芯辰电子有限公司，基于研究院在MEMS芯片与结构光方面的科研成果，重点面向智能制造装备发力，为工业机器人、工业缺陷检测、无人物流设备装上超高精度的“眼睛”。