纳米定位扫描台

长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。

长行程纳米促动器

高精度纳米转台设计结构紧凑，可实现绕Z轴无限旋转运动，其旋转精度高，稳定性强，支持超高真空环境。

高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理，提供无限行程的同时保证纳米级分辨率，借助独特的硬件及控制算法，可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。

精密旋转平台V3

采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴（θx，θy）旋转运动实现高精密指向与调姿，输出扭矩大，响应速度快，控制精度高。

压电陶瓷驱动偏摆台

音圈电机驱动偏摆台采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴（θx，θy）旋转运动实现高精密指向与调姿，输出扭矩大，控制精度高，适用于超远程大口径光束的快速指向、扫描及跟踪。

音圈电机驱动偏摆台

六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大，稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。

六自由度并联运动平台

五轴重载压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大口径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。

五维重载压电平台