上海帕乇真空技术有限公司，坐落在上海浦东新区，是专注于提供高真空技术服务解决方案的创新型供应商。公司经过多年的发展与积累，组成了一支拥有多年行业经验的维修及售后服务团队，凭借自身强大的维修实力、专业的服务能力，已成为集研发、服务、销售于一体的企业。

BOC Edwards、Shimadzu、Leybold、Pfeiffer、Ulvac、Varian、Alcatel、Ebara等品牌各型号分子泵保养、维修，翻新品销售

BOC Edwards、Shimadzu、Leybold、Pfeiffer、Ulvac、Varian、Alcatel、Ebara等品牌各型号控制器维修、翻新品销售

设备特点:

1.254nm非接触式光波照射，无电弧损伤晶圆线路问题

2.采用大功率(350W<->500W)灯管,高照度,高ERASE效率

3.采栅型灯管拼接,高照射均匀度

4.无臭氧问题/不需厂务热排

5.操作安全性高(防漏光/抽屉误开熄灯设计)

产业应用：

1.基板(玻璃/晶圆)水洗后的最终表面处理

2.晶圆表面在长氧化层或金属沉积层前的表面清洁处理

3.光罩清洗的最后表面洁净制程

  极细光罩附着光阻污染物进行湿式清洗后最后一道UV/O3表面处理

4.各种基板镀膜前处理如 氢能电池阴极片(不锈钢薄片上镀碳膜) DRY CLEAN

5.基材表面 看原子显微镜前处理

6.细胞生物研究PLL-PEG多分子基材深紫外光(185nm)处理

7.RD/实验室基础研究相关