山东联盛电子设备有限公司成立于2014年5月,研发总部位于济南市高新区科嘉路1867号,工厂地址位于山东省高唐县高新技术开发区,是专业生产制造湿制程设备的高新技术企业。
公司目前已申请国家专利30多项,其中发明专利8项,并建立了省级企业技术中心,省级专精特新企业,国家级高新技术企业。
公司于2016年申请通过ISO9001质量体系认证,ISO14001质量环境体系认证,半导体SEMI-S2专业认证。
公司于2020年与山东大学微电子学院建立产学研合作,并与其清洗技术中心加强科研和技术合作。
我们产品服务的领域包括硅材料、化合物半导体材料、功率半导体、高校和科研院所等。
▲全自动RCA清洗机
▲全自动腐蚀机
▲全自动最终清洗机
▲全自动炉管清洗机
▲全自动去边清洗机
▲全自动槽式显影机
▲全自动片盒清洗机
▲CDS SDS供液系统
产品还包括:全自动镀镍(金)清洗机、全自动扩散清洗机(磷扩、硼扩)、全自动沟槽蚀刻机、全自动铝腐蚀清洗机 、全自动有机清洗机、全自动碱腐蚀清洗机等。根据客户可定制不同功能腐蚀清洗机系列:SIPOS清洗机,SC-1清洗机,BOE腐蚀清洗机,SPM腐蚀清洗机,金属膜腐蚀机等。
机台按功能分采用进口劳士领板材、SUS316材料,可长期工作在酸腐蚀、有机环境,坚固耐用,双层防漏 。工艺过程中完全自动化控制,自主研发控制系统,友好的人机交互界面。全方面的警报提示功能,防呆设计功能,排风压力、液位、加热均有硬件或软件互锁,直观的操作界面,清晰的信息提示,保障了生产、工艺控制的安全性。控制部分采用进口品牌PLC 和HMI,可带MES系统。设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。
山东联盛电子设备有限公司
网址:http://www.jiesing.com.cn/
地址:山东高唐经济开发区人和西路1号
第五届全球半导体产业(重庆)博览会
时间:2023年5月10-12日
地点:重庆国际博览中心