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展商推荐 | 谷微半导体科技(江苏)有限公司邀您参加第四届全球半导体产业(重庆)博览会



企业简介


谷微半导体科技(江苏)有限公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备及零部件制造商,是一家半导体科技领域内集研发和生产的高科技型公司。公司主要从事半导体芯片制造测试及湿法设备(旋转喷淋去胶、蚀刻及电镀等)和配套耗材的研发、生产、销售,研发及制造半导体流体精密控制系统。目前已形成完整的技术体系和丰富的产品系列,可根据用户的工艺要求量身定制。



公司注册资金RMB50,000,000(伍仟万元),项目总投资3亿元,总占地面积约31亩,总建筑面积约4万平方米。预计年产40台半导体设备、年产5万只半导体流体控制系统项目。项目设备投入6000万元,项目完全达产后,预计年产值可达3亿元人民币;满产后,预计年产值可达8-10亿元人民币。



公司核心团队来自海内外专业人才,谷微半导体与中国科学院微电子研究所成立“集成电路湿法装备与制程开发协同创新实验室”,形成产学研一体化,研发前瞻性的半导体技术,并形成市场化的量产。




产品介绍


01
SRD甩干机



谷微SRD产品拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%。设备主要性能指标对标Semitool SRD系列,采用成熟的设计理念,配备较为先进的PSC-102控制器or PLC控制方式,并且可以根据客户的需求对产品进行定制化配置,可选配SECS II/Gem协议功能。相对进口设备,可以很好地为客户节约成本,该产品生产基地位于江苏南通。


本产品的电控部分主要采用了西门子的PLC以及Win CC 7.4 SP1为上位机的控制软件,在Windows 10的操作系统下运行;它采用以太网作为通讯手段,控制灵活方便;易维护,故障率低。该产品的电控方案与传统的控制方案相比,无疑是一种革命性的变换。它保留了传统控制原理,体现了数字控制的优势,电机的转速/定位等可以精确到μm级。控制画面简洁清楚,工作中画面带有动画感,更便于操作。


型号:

GW-470S(6寸单腔)

GW-480S(8寸单腔)

GW-870S(6寸双腔)

GW-880S(8寸双腔)


02
SST



旋转去胶机(SST)可用于金属剥离,光刻胶剥离,去除聚合物及其它要求苛刻溶剂。该设备适用于50~200mm晶圆,配备1个或2个处理腔室,2/4/6个药液桶(可选配)和可定制的转子;采用PLC控制系统,操作更简便;管理设计更安全,性能更高;储存药液控温系统更稳定;可支持GEM / SECSII通信协议和可靠性报告上传;可增加生产力及运行时间,降低生产成本。


型号:

GW-SST421280系列(单腔)

1.配置4个tank(2个tank可加热)

2.最大尺寸200mm 

GW-SST632280系列(双腔)

1.配置6个tank(3个tank可加热)

2.最大尺寸200mm


03
SRD甩干机自动传片装置

人工将装有晶圆片的花篮放在确定位置后,按启动,后面的工作就是自动传片装置将晶圆片传入甩干机进行甩干加工,直到花篮重新回到这个位置;所有动作全部由机器完成,人不再参与其中,简化了操作人员的工作,降低了操作人员的劳动强度,减少了人带入生产线的杂质颗粒,提高了产品质量,提高了生产效率。如果采用机器人来放置装有晶圆片的花篮,一台机器人可以负责几台这种自动传片装置,就能节省更多操作人员,为晶圆生产全面自动化的实现更近了一步。


04
半导体流体精密控制系统

(含气动隔膜阀、流量计、压力传感器等)




合作伙伴




联系方式



谷微半导体科技(江苏)有限公司

联系人:涂辉、付裕

电话:18118860728、18610396882

邮箱:tuhui@go-wellsemi.com 、fuyu@yulongchina.com.cn

地址:江苏省南通市开发区新开南路116-8号6楼



  诚挚邀请  

本司将参加2022年6月29日-7月1日在重庆国际博览中心举办的第四届全球半导体产业(重庆)博览会,此次展会以“集智创芯、共塑未来”为主题,展示面积达25000㎡,参展企业预计达350家,全球半导体、集成电路、芯片及研发设计等企业参展,集中展示新产品、新技术,邀请18000名专业观众参观,同期还将举办“第四届未来半导体产业发展大会”论坛活动,组委会将尽全力打造最专业的上下游交流合作平台。


谷微半导体科技(江苏)有限公司诚邀您参加本次展会,届时共同分享半导体产业创新产品、技术及解决方案,充分彰显企业高端品牌形象!