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展商推荐 | 深圳市森美协尔科技有限公司邀您参加第四届全球半导体产业(重庆)博览会



企业简介

SEMISHARE(深圳市森美协尔科技有限公司)致力为客户提供高性能的晶圆探针台与测试方案,服务客户主要为高校与科研院所、集成电路FAB、面板厂等企业,公司在半导体测试领域有着诸多的成功技术案例与经验。



SEMISHARE提供的标准化与定制化探针台系统,涵盖了从实验室到晶圆厂的测试测量应用需求,并全面满足科研及量产各环节的测试需要,包括:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台、TEG/OLED激光修复机。设备广泛应用于I-V/C-V测试,RF/mmW测试,高压/大电流测试,MEMS、高低温测试,光电器件测试,晶圆级失效分析,霍尔测试,LCD/OLED面板激光修复等。



从创立之初,SEMISHARE就已将“立足服务于芯片产业,助力中国制造自主领先的芯片,推动全球半导体行业发展”的使命根植于企业DNA。我们不断坚持技术创新,努力持续赢得客户信赖,目标是成为全球知名的半导体测试设备提供商。



企业历程

2009年,公司成立
2011年,在国内第一家推出SCG系列高低温真空探针台。
2012年,在国内第一家推出自主知识产权的Touch Panel /LCD 用激光修复机LP IR/GRN ,应用于面板的laser cut/welding修复。
2013年,与美国ESI(Boston、Montreal、深圳三地)共同合作研发应用于OLED修复的飞秒激光项目和DM亮点暗化项目。
2014年,在国内第一家推出自主研发的TEG Prober面板激光探针台。06月-推出高精度变温霍尔效应测试系统。
2015年在中国率先推出Flex系列亮点暗化激光系统应用于TFT-LCD/OLED的亮点暗化,较传统的修复方式在良率和效率方面有极大的提升。
10月,在国内第一家推出in-line CVD激光修复机,应用于客户量产。
2018年SEMISHARE参与总投资近20亿元“空间环境地面模拟装置”国家大科学工程项目离子辐照终端集成系统设计
2019年,推出自主技术的第二代X12半自动探针台,并获得H龙头企业量产订单。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。SEMISHARE研发的半自动探针台成功填补国内该研发生产领域的空白。2021年,通过深圳市计量质量检测研究院检测,技术指标已达到国际领先水平,部分参数甚至优于国际一线品牌。
2021年,推出自主技术的第二代A12(兼容8寸)的量产型全自动晶圆探针台,设备可与不同类型的Parametric 及ATE测试机组合并用,通过使探针卡与晶圆Pad点之间精准接触,实现完成晶圆WAT/CP测试,该设备操作简单并具有良好的机械稳定性,能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案,满足(晶圆厂、封测厂、测试厂)等不同客户的测试需求。



产品介绍

01
A12全自动探针台



SEMISHARE研发的A12是一款12寸(兼容8寸)的量产型全自动晶圆探针台,设备可与不同类型的Parametric 及ATE测试机组合并用,通过使探针卡与晶圆Pad点之间精准接触,实现完成晶圆WAT/CP测试,该设备操作简单并具有良好的机械稳定性,能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案,满足(晶圆厂、封测厂、测试厂)等不同客户的测试需求。


自主开发软件,简单易操作,可实现7×24小时无人值守


自主研发的软件系统,兼容性强,功能强大且操作简单,对新手操作员来说非常友好。可在夜间或周末将测量作业置于运行状态,通过高分辨率和高精度的温度控制,支持在不同的温度下测试晶圆上的所有器件,并且不需要操作人员的干预。如果探针偏离了与Pad对准的状态,则系统将自动把它们重新对准,节省测试时间,拥有强大的Wafermap编辑功能,支持离线和文件导入导出功能。


视觉自动精确校准


在测试情况下,光的精确放置是至关重要的,视觉自动精确校准,在某些情况下能够减少测试时间从几个月到几分钟。自主设计的上下显微镜系统,独特的上下对焦和对中光学技术,同时搭配4套200万像素高清晰数字相机,精密气动式上显微镜结构,保证了校准和扎针在相同区域,且每个显微镜都具备高低倍率,满足高精度的对位和针尖识别需求。


高强度低重心设计结构,高精度和测试速度,大大提升测试效率


多方位的环境监测和补偿功能,解决因温度和湿度变化引起的位置精度变化。高精度XYZR四维平台,XYZ精度高达±1μm,R精度高达0.0001°,0.1μm分辨率的光栅尺,保证了超高精度的运动性能。一体式铸造和长时间时效处理的机座,实现7×24小时无间断工作。XY轴的运动速率可达200mm/s,大大提升测试效率。
实现精准、快速、自动化晶圆测试的核心是通过不断创新的软、硬件技术,让我们的设备能够按照设定的需求自主运行,实现更精准的接触和缩短数据获取的时间,SEMISHARE一直致力于此,为我们的客户提供专业的测试测量解决方案。


产品特点:

  • 晶圆自动上下片装载输送

  • 微米级全闭环运动控制

  • 高强度低重心设计

  • 高精度和测试速度,大大提高测试效率

  • 7*24全天候在片探测

  • 人性化用户界面


02
X系列半自动探针台



SEMISHARE X12半自动探针台是在-60℃~300℃环境下通过探针或探针卡点测样品pad电极,通过连接测试仪器加载和测量电学信号,并在软件端对电学信号进行控制、判断与存储,并将判断信息反馈至喷墨系统,对次品芯片(die)进行打点标记,其中,标记方式可根据客户要求设定。在一个芯片(die)测试完成后,通过软件控制系统将chuck机械平台移动至下一个待测芯片(die),依次进行循环测试。


SEMISHARE X12(X Series)是一款集成了电学、光波、微波、等测试功能的半自动探针台,专业应对12寸Wafer (向下兼容8寸,6寸)Si,GaN,SiC等各类材质的先进芯片的性能测试。可对晶圆、MEMS、生物结构、光电器件以及其他集成电路、LED、LCD、太阳能电池等进行7*24全天候在片探测,并可加载温控系统,满足客户于高低温环境下的各种性能测试要求。


产品特点:

  • 测试运行速度≥70mm/s,有效提升测试效率

  • 先进的多倍率成像技术,高精度测量与动态监控,点针更便捷操作 

  • -60℃~300℃宽泛测试温宽区

  • 7*24小时全天候在片探测

  • 自主研发软件集成系统,兼容性更强


从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。SEMISHARE2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场,成功填补国内该研发生产领域的空白。


SEMISHARE(深圳市森美协尔科技有限公司)研发的X系列半自动探针台是高精度探针台并已成功实现量产和获得国内龙头企业批量订单。其技术指标可以达到国际领先水平,部分参数甚至优于国际一线品牌,深圳市计量质量检测研究院日前已对半自动晶圆探针台X系列完成检测并出具相应检测报告。



03
CG系列真空高低温探针台



产品特点:

  • 可支持4.2K-450K温度

  • 防辐射屏设计,提高样品温度均匀与准确性

  • 探针热沉设计,保证精准落针

  • 可升级加载磁场

  • 灵活且可扩展的测试应用配置

  • 自动冷媒流量控制,自动精准控温


04
H系列综合型探针台



产品特点:
  • 三段式可升降针座平台,便于精确定位,快速分离样针

  • 标配金相显微镜,达到1μm以上的Pad测试

  • 可搭载激光器进行FA失效分析/激光切割

  • 气控式卡盘移动技术,可快速拉出卡盘



  诚挚邀请  

本司将参加2022年6月29日-7月1日在重庆国际博览中心举办的第四届全球半导体产业(重庆)博览会,此次展会以“集智创芯、共塑未来”为主题,展示面积达25000㎡,参展企业预计达350家,全球半导体、集成电路、芯片及研发设计等企业参展,集中展示新产品、新技术,邀请18000名专业观众参观,同期还将举办“第四届未来半导体产业发展大会”论坛活动,组委会将尽全力打造最专业的上下游交流合作平台。


深圳市森美协尔科技有限公司诚邀您参加本次展会,届时共同分享半导体产业创新产品、技术及解决方案,充分彰显企业高端品牌形象!


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