第八届全球半导体产业与电子技术（重庆）博览会将于2026年5月13日-15日在重庆国际博览中心举办，此次博览会以“新时代·创造芯未来”为主题，展示面积达30000㎡，参展企业800家，吸引28000名专业观众到场参观交流。 GSIE 2026向您推荐参展商——深圳市克洛诺斯科技有限公司。 深圳市克洛诺斯科技有限公司是一家专注于高精密直驱运控领域的高新技术企业，获得瞪羚企业、省级制造业单项冠军、国家级专精特新“小巨人”企业等多项荣誉，公司主营业务为纳米级/微米级直线电机运动平台、气浮主轴、气浮单轴、气浮平台、小蓝动力导轨，是半导体产业、集成电路制造装备领域核心部件的重要供应商。 产品介绍 1、木星半导体运控平台 产品用途： 先进固晶制程(倒晶封装、扇出、混合键合、2.5D/3D封装)以及Mini LED固晶、键合点胶。 性能特点： 1、在10K UPH吞吐量情况下达到+350nm的局部贴片精度(同部找正运动) 2、在5K UPH吞吐量情况下达到+100nm的局部贴片精度(同部找正运动) 3、±1um全局贴片精度(盲动) 4、<10分钟的热瞬态(从冷态到热态工作) 5、典型倒晶固晶应用的吞吐量达10KUPH 6、混合键合应用的吞吐量达2K UPH 7、Mini LED固晶的春吐量达180K UPH 8、X轴加速度达4G，Y轴达6G和Z轴达7.5G 9、X轴和Y轴运动速度达2m/s和Z轴达1m/s 10、满足IS0 5级洁净车间要求 2、水星半导体运控平台 产品用途： 晶圆生产控制应用:关键尺寸量测、套刻量测、薄膜测量等。 平台优势： 总行程：475*410mm 具备导轨粉尘抽吸功能 具备个性化信号 具备压缩空气管 具备集成旋转、晶圆面聚焦以及平面偏摆修正组合模块 卡盘面带真空接口 短行程和端稳定时间 3、天王星半导体运控平台 产品用途: 晶圆生产控制应用：套刻量测、关键尺寸量测、薄膜量测；后端制程：特定大型面板/基体上的倒晶封装。 平台优势： 采用高性能有铁芯直线电机，搭配高强度机械轴承和高端光电式编码器组成。 该平台主要为简化半导体生产设备制造应用而设计生产，最新的运控理念，一流的结构紧凑型设计，通过改善机械结构和装配，显著提高平台整体动态性能。在不影响设备重复性和定位精度的基础上提高产能，加速度达25m/s?，最高速度达到1.2m/s，同时提高有效负载，降低设备占空比。 性能特点： 1、结构紧凑 2、纳米级位置稳定性 3、超短的运动和稳定时间 4、优异的位置稳定性和双向重复定位精度 4、气浮运控平台 产品用途： 气浮平台广泛应用于航空航天、精密加工、半导体制造、光学加工、电子精密组装、先进科研实验等领域,如半导体芯片处理、光学元件检测、晶圆计量检测等。 性能特点： 1、高加速低振动非接触式直线电机驱动 2、高分辨率光学线性编码器反馈 3、优异的双向重复精度及高动态响应 4、纳米级位置稳定性 5、高精度低摩擦气浮导轨导向 6、高效防抖动控制配套 5、小蓝动力导轨 认识小蓝： 小蓝动力导轨的本质是一款集成型直线电机，最高精度±5μm，最高速度4m/s，最大负载100kg，可进行无限拼接，是克洛诺斯科技原创自主研发的专利产品。 产品特色： 1、体积小、推力大； 2、精度高、速度快； 3、性能稳定、性价比高； 4、高度集成、装配简单； 5、交期短、发货快。 应用领域： 适用于点对点精密位移直线运动，比如3C电子领域、光伏锂电领域以及喷绘打印等领域的精密组装、精密加工、精密搬运等。
