第七届全球半导体产业（重庆）博览会将于2025年5月8日-10日在重庆国际博览中心举办，此次博览会以“新时代·创造芯未来”为主题，展示面积达40000㎡，参展企业800家，吸引35000名专业观众到场参观交流。
GSIE 2025向您推荐参展商——富睿思（苏州）仪器有限公司。
企业介绍
富睿思（苏州）仪器有限公司成立于2021年，公司位于江苏省苏州市吴中区，专注于半导体量测仪器的研发与生产。主要产品包括原子力显微镜、白光干涉显微镜等精密表面测量设备。公司首席科学家吴森副教授及研发团队均出身于天津大学精仪系，在原子力/白光干涉显微技术与仪器领域有扎实的积累。公司产品的所有核心软硬件均为自研，技术水平处于国内领先地位。
● 205mm×205mm高精度快速定位
● 三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
● 测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.05nm(Z向RMS)
● 支持自动换针、自动装卸样品(选配)、可编辑Recipe自动检测
● 支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
● 大理石台面提供光学联用系统安装工位
● 专利保护的扁平式光杠杆光路，探针上方和前部空间无遮挡
● 测头有效厚度＜7.8mm，可适配正置型高倍物镜
● 样品台闭环扫描范围100μm×100μm×15μm
● 测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.04nm(适当环境)
● 支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
● 提供多种外设同步触发接口，可与拉曼、红外等系统集成
● 400mm×350mm高精度快速定位，360°电动回转
● 三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
● 测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.05nm(Z向RMS)
● 支持自动换针、自动装卸样品(选配)、可编辑Recipe自动检测
● 支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
● 米级行程微米精度快速定位
● 三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
● 测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜2nm(Z向RMS)
● 支持自动换针、自动装卸样品(选配)、可编辑Recipe自动检测
● 支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
● 低漂移龙门机架，Φ300mm样品台
● 400mm×350mm高精度快速定位，360°电动回转
● 三维正交扫描型AFM测头，闭环范围100μm×100μm×15μm
● 六路激光干涉实现长度计量
● 测头底噪＜50fm/sqrtHz，整机成像噪声＜0.05nm(Z向RMS)
● 支持自动换针、自动校准、可编辑Recipe自动检测
● 支持各类常见工作模式及侧壁扫描、自动化纳米操纵等特殊模式
● Michelson、Mirau、Linnik三类干涉光路可选
● 独有的抗扰算法，无需专门隔振措施
● 分辨力高，噪声小于0.1nm
● 适用面广，可检测金属、玻璃、硅片、塑料等各类样品
● GPU加速，单点测量时间低于8s
● 自研多功能图像分析软件
