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展商推荐丨上海先普气体技术有限公司邀您参加第五届全球半导体产业(重庆)博览会



企业简介




先普是经国家认证的高新技术企业和上海市专精特新企业,2004年由归国留美博士江晓松在上海闵行创办,公司在充分掌握国家先进气体纯化核心技术的基础上,通过不断的研究创新,已获得六十余项专利证书,自主开发了十几个系列上百种产品,纯度可提供9N、7N两种级别,其中压力范围从1.0MPa的常压到24MPa的高压,流量范围从几百毫升每分钟到上万立方米每小时。先普以实用的产品,专业的服务,合理的价格为客户提供高性价比的气体纯化解决方案。


产品介绍



先普9NS系列产品是专门为半导体行业所设计的9N高性能纯化系统,用于纯化惰性气体,气体流量从10Nm3/h到20000Nm3/h,纯化后气体中H2O、O2等分项杂质最低可达到ppb级别。



先普9NP系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术,通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去除到1ppb以下,并且在内表面电化学抛光的316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。



先普9NG系列高性能气体纯化器由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由吸气剂(Getter)纯化单元和一系列阀门、气体管路和散热器所组成。纯化器可配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器,采用化学反应的方法在高温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC, N2等杂质去除到1ppb以下。电控部分负责控制系统的温度和安全报警等过程,确保纯化器能够持续安全稳定地运行。



先普P9系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术,通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去除到1ppb以下,并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003um的颗粒过滤器。



先普以多年来为客户提供气体纯化与过滤解决方案的经验,应国内半导体产业国产化需求在2022年推出0.003微米高精度气体过滤器,覆盖流量范围从1slm到150Nm3/h,适用于晶圆生产,芯片制造,半导体,MEMS,光电,平板显示器等行业以及高纯工艺气体输送和气柜、阀门箱组等。


  诚挚邀请  

本司将参加2023年5月10日-12日在重庆国际博览中心举办的第五届全球半导体产业(重庆)博览会,此次展会以“集智创芯、共塑未来”为主题,展示面积达25000㎡,参展企业预计达350家,聚焦半导体产业核心技术及发展趋势,拟设“IC设计、集成电路制造、封装测试、半导体材料、设备制造、电子元器件、AI+5G、智慧电源、综合展”等主题专区,专业呈现半导体产业最新技术成果,检索更多智能应用领域创新案例,搭建专业高端的产业生态交流合作平台,邀请20000名专业观众参观。同期还将举办“第五届未来半导体产业发展大会”论坛活动,组委会将尽全力打造最专业的上下游交流合作平台。


上海先普气体技术有限公司诚邀您参加本次博览会,届时共同分享半导体产业创新产品、技术及解决方案,充分彰显企业高端品牌形象!