苏州瑞霏光电科技有限公司是一家专业从事光学三维检测的国家高新技术企业，公司技术团队由清华大学等高校博士组成，已获授权二十项发明与实用新型专利、多项软件著作权。公司为苏州创业领军企业和江苏省双创人才企业、全国光学和光子学标准化技术委员会和显微镜分技术委员会的成员单位，是一家快速成长中的自主创新高科技企业。
经过多年积累，公司拥有成熟的面向半导体制造的光学检测方案，自主研发了晶圆翘曲薄膜应力测量仪、化合物晶圆内应力检测仪、白光干涉显微镜、晶圆外观缺陷等产品系列，实现部分关键设备的进口替代，为国内用户提供高性价比的检测产品与服务。
1、晶圆翘曲薄膜应力测量仪Stress Mapper
系统功能：晶圆翘曲测量；薄膜应力测量
检测对象：Si晶圆，化合物晶圆，玻璃晶圆
技术特点：
> 面向8/12寸晶圆（光片及图形片）
> 全口径非接触均匀密集采样，支持Mapping
> 测速快（0.5mm采样间隔30-50s/片）
> 可集成晶圆加热功能（达500度）
> 可集成粗糙晶圆翘曲测量功能
型号：
测试案例：
4寸晶圆翘曲应力测试
12寸图形晶圆翘曲测量
2、三维测量（白光干涉）显微镜Micro1000
系统功能：晶圆表面粗糙度测量；芯片光刻三维结构测量；激光刻蚀轮廓测量
检测对象：Si晶圆，SiC晶圆，蓝宝石晶圆，玻璃晶圆
技术特点：
> 亚纳米级纵向分辨率
> 单次测试视场大（2*1.4mm，5X干涉物镜）
> 任意选区测量评价
> 选配膜厚测量模块
型号：
技术参数：
测试案例：
3、化合物晶圆内应力检测仪StrainViewer
产品功能：透光材料内应力分布测量及缺陷筛查
检测对象：三代化合物晶圆片、精密光学元件（平晶、棱镜、波片、透镜等）
面向行业：化合物晶圆生产、光学精密加工
技术特点：
> 基于偏振相机的应力测量模型可以实现瞬时测量，快速显示应力二维分布伪彩图
> 采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高
> 根据不同测量视场要求，多种镜头可选
> 订制化晶圆样品托盘，适应2-8寸晶圆批量测试
型号：
测试案例：
SiC晶圆内应力测量结果
蓝宝石晶圆内应力测量结果
苏州瑞霏光电科技有限公司
公众号：“瑞霏光电”
电话：400-069-8900
邮箱：wxj@raphaeloptech.com
网址：www.raphaeloptech.com
地址：苏州市太仓北京东路88号东G楼
本司将参加2022年6月29日-7月1日在重庆国际博览中心举办的第四届全球半导体产业（重庆）博览会，此次展会以“集智创芯、共塑未来”为主题，展示面积达15000㎡，参展企业预计达300家，全球半导体、集成电路、芯片及研发设计等企业参展，集中展示新产品、新技术，邀请12000名专业观众参观，同期还将举办“第四届未来半导体产业发展大会”论坛活动，组委会将尽全力打造最专业的上下游交流合作平台。
苏州瑞霏光电科技有限公司诚邀您参加本次展会，届时共同分享半导体产业创新产品、技术及解决方案，充分彰显企业高端品牌形象！
